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인텔, 하이 NA EUV 양산 웨이퍼 100만 돌파…18A에 적용
인텔 파운드리·ASML, 고개구율 EUV 양산 가속화…100만장↑ 적용
18A 공정 넘어 팬서레이크까지... 인텔-ASML, 하이 NA EUV 웨이퍼 100만장 돌파