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중국 업체, ASML 도전 EUV 광원 시제품 공개…국산화율 90% 달성

중국 업체, ASML 도전 EUV 광원 시제품 공개…국산화율 90% 달성

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중국 기업이 ASML에 도전하는 EUV 광원 시제품을 공개하며 국산화율 90%를 달성했다고 밝혔다.

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    중국 업체가 EUV 노광장비 핵심 부품인 광원 시제품을 공개하며 국산화율 90%를 달성했다고 발표해 ASML에 도전장을 내밀었다.

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